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GB/T 1146.1-1997 中国电子行业超纯水国家标准(节选)

发布日期:2007-01-07 10:24:31 纺织检测网http://www.nt315.com/

指标 

EW-I

EW-II

电阻率MΩ.cm25

18以上(95%时间)不低于17

1595%时间)不低于13

硅≤µg/l

2

10

>1µM微粒数≤个/ml

0.1

5

细菌个数≤个/ml

0.01

0.1

铜≤µg/l

0.2

1

锌≤µg/l

0.2

1

镍≤µg/l

0.1

1

钠≤µg/l

0.5

2

钾≤µg/l

0.5

2

氯≤µg/l

1

1

硝酸根≤µg/l

1

1

磷酸根≤µg/l

1

1

硫酸根≤µg/l

1

1

总有机碳≤µg/l

20

100

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